你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

标准编号
GB/T 16879-1997
中图分类号
L97
ICS分类号
31.020
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01

相似标准