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光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

标准编号
GB/T 16880-1997
中图分类号
L97
ICS分类号
31.020
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01

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