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氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

标准编号
GB/T 32189-2015
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-11-01

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