你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

标准编号
GB/T 14847-1993
中图分类号
H21
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
作废
标准类别
国家标准
发布日期
1993-01-02
实施日期
1994-09-01

相似标准