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不同基体样品镀TiN膜层的压入深度-弹性模量曲线

领域
金属材料领域
作者
曹标,莫明珍,李俊杰
试验方法编号
图谱拍摄时间
2019-02-15
图片
描述
样品3和样品4的压入深度-弹性模量测量曲线
测试对象
样品3为硬质合金基体表面电镀TiN, 膜厚为1 500 nm;试验样品4为硬质合金基体表面电镀TiN, 膜厚为500 nm
参数
弹性模量
结果
从图可以看到, 在同一测量深度下, 两个样品膜层的弹性模量测量结果则不同, 这表明, 膜层厚度越厚, 同一测量深度下膜层的弹性模量越大。